나뭇잎 교과서

주사 전자 현미경

꽃가루 한 알의 가시, 파리 겹눈의 육각형 낱눈을 입체 사진처럼 보여 주는 것이 주사 전자 현미경입니다. 빛 대신 전자를 쓰면 왜 더 작은 것이 보이고, 왜 시료에 금을 입혀야 할까요?

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주사 전자 현미경

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광학 현미경으로 꽃가루를 보면 둥근 알갱이로 보이고, 사진을 찍어 컴퓨터에서 열 배로 키워도 흐릿한 얼룩만 커질 뿐이다. 그런데 주사 전자 현미경 사진에는 같은 꽃가루 표면에 0.2 μm보다 가는 가시들이 입체적으로 빼곡히 보인다. 확대 배율만 높인다고 작은 것이 보이지 않는 까닭은 무엇일까? 그리고 전자 현미경 사진에서 실제 크기는 어떻게 읽을까?

관찰 도구쓰는 것분해능 (가릴 수 있는 거리) 맨눈빛약 0.1 mm 광학 현미경가시광선 (약 500 nm)약 0.2 μm 주사 전자 현미경전자 빔수 nm 분해능은 쓰는 파동의 파장에 따라 정해진다
그림 1. 가까운 두 점을 둘로 구별할 수 있는 최소 거리인 분해능은 쓰는 빛이나 전자의 파장에 따라 정해진다.
먼저 알아야 할 것현미경의 배율, 빛의 파동성, 플랑크톤 관찰과 눈금 보정(플랑크톤 관찰).

1.2.1배율과 분해능

배율은 상을 얼마나 크게 키우는지이고, 분해능은 가까이 있는 두 점을 둘로 구별할 수 있는 가장 짧은 거리이다. 빛은 파동이어서 아주 작은 틈이나 점을 지나며 퍼지므로, 파장의 절반쯤보다 가까운 두 점은 상에서 겹쳐 하나로 보인다. 가시광선의 파장이 400 nm에서 700 nm이므로 광학 현미경의 분해능은 약 0.2 μm에 머문다. 이보다 작은 구조는 상을 아무리 크게 키워도 흐릿한 덩어리가 커질 뿐 새로운 모습이 나타나지 않는다. 이렇게 분해능을 넘어서 키운 배율을 빈 배율이라 한다.

정리 1.2.1 분해능의 한계

현미경의 분해능은 대략 \(d \approx \dfrac{\lambda}{2}\)이다. 파장이 짧은 것을 쓰면 분해능이 좋아진다. 수천 V로 가속한 전자는 파장이 가시광선의 수만분의 1이어서, 전자 현미경은 렌즈의 한계를 고려해도 수 nm까지 구별한다.

주사 전자 현미경은 가는 전자 빔으로 시료 표면을 한 줄씩 훑으며, 각 점에서 튀어나오는 이차 전자의 양을 재어 상을 만든다. 경사진 곳이나 모서리에서 이차 전자가 많이 나오므로 표면의 높낮이가 그림자처럼 드러나 입체적으로 보인다. 그 대신 표면만 볼 수 있고, 전자에는 색이 없어 사진은 흑백이다. 신문의 컬러 전자 현미경 사진은 나중에 색을 입힌 것이다.1

1.2.2시료 준비와 크기 읽기

전자는 공기 분자와 부딪히면 흩어지므로 시료실은 진공이어야 한다. 그래서 물기가 있는 생물 시료는 모양을 고정하고 말려야 하며, 전자가 쌓여 상이 일그러지지 않도록 표면에 금이나 백금을 수 nm 두께로 얇게 입혀 전기가 통하게 한다. 이 때문에 살아 있는 세포는 볼 수 없다. 사진의 실제 크기는 사진 아래의 눈금 막대로 읽는다. 사진을 확대하거나 축소해도 눈금 막대가 함께 변하므로, 배율 숫자보다 눈금 막대가 믿을 만하다.

10 μm (사진에서 2.0 cm) 꽃가루 지름 (사진에서 6.4 cm) 실제 지름 = 6.4 ÷ 2.0 × 10 μm = 32 μm배율 = 2.0 cm ÷ 10 μm = 2000배
그림 2. 사진 속 길이를 눈금 막대의 길이와 비교하면 배율을 몰라도 실제 크기를 구할 수 있다.

1.2.3예제 풀이

예제 1.2.2

그림 2의 사진에서 꽃가루의 실제 지름과 사진의 배율을 구하여라. 같은 사진에서 가시 사이의 간격이 0.3 cm였다면 실제 간격은 얼마이고, 광학 현미경으로 이 가시들을 구별할 수 있는가?

눈금 막대 2.0 cm가 10 μm이므로 사진 1 cm는 5 μm이다. 꽃가루 지름 6.4 cm는 \(6.4 \times 5 = 32\) μm이다. 배율은 \(2.0\ \mathrm{cm}/10\ \mu\mathrm{m} = 20\,000\ \mu\mathrm{m}/10\ \mu\mathrm{m} = 2000\)배이다.

가시 사이 간격 0.3 cm는 \(0.3 \times 5 = 1.5\) μm이므로, 분해능 0.2 μm인 광학 현미경으로도 가시들을 구별할 수 있다. 그러나 가시 하나의 굵기가 0.1 μm라면 그 모양은 광학 현미경으로 볼 수 없고 전자 현미경이 필요하다. 즉 무엇을 볼 수 있는지는 배율이 아니라 분해능이 정하고, 분해능은 쓰는 파동의 파장이 정한다.

아래 탐구 카드에서 광학 현미경과 주사 전자 현미경 사진을 비교하며 분해능의 차이를 확인하고, 눈금 막대로 실제 크기를 구해 보자.

  1. 최초의 전자 현미경은 1931년 독일의 루스카와 크놀이 만들었다. 루스카는 이 공로로 55년 뒤인 1986년 노벨 물리학상을 받았다. 주사 전자 현미경은 1960년대에 상용화되었다.
마무리

현미경으로 볼 수 있는 가장 작은 구조는 배율이 아니라 분해능이 정하며, 분해능은 쓰는 파동의 파장의 절반쯤이어서 광학 현미경은 약 0.2 μm, 파장이 아주 짧은 전자를 쓰는 전자 현미경은 수 nm까지 구별한다. 주사 전자 현미경은 진공 속에서 금속을 입힌 시료의 표면을 전자 빔으로 훑어 입체적인 흑백 상을 만들고, 실제 크기는 눈금 막대로 읽는다. 처음 질문의 가는 가시는 광학 현미경의 분해능보다 작아서 아무리 확대해도 보이지 않았던 것이다.

탐구 1

주사 전자 현미경으로 꽃가루의 가시까지 선명하게 보려면 무엇을 맞춰야 할까?

실험 · 주사 전자 현미경 · 초점과 비점 수차 · 피사계 심도
시료

시료실에 공기가 들어 있습니다. 진공을 만든 뒤 빔을 켜세요.

전자 탐침 지름
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화면 한 화소의 크기
—
피사계 심도 (계산)
—
광학 현미경투과 전자 현미경주사 전자 현미경
쓰는 것가시광선, 유리 렌즈투과한 전자, 전자기 렌즈표면에서 튀어나온 이차 전자
분해능약 200 nm약 0.1~0.5 nm약 1~10 nm
상컬러, 살아 있는 세포 가능얇은 절편의 내부 단면 (흑백)표면의 입체 모습 (흑백)
시료 준비얇게, 필요하면 염색고정·탈수·초박절편, 중금속 염색, 진공고정·건조, 금속 코팅, 진공

화면 폭을 100 mm로 보고 배율을 정했다(×1000이면 시야 폭 100 μm). 대물 조리개 반지름 15 μm, 탐침 지름과 잡음, 대전 정도는 실제 장비의 경향을 따른 모식값이다. 선명도 지수는 상의 흐림·잡음·대전·밝기 포화를 합쳐 0~100으로 나타낸 값이며 ±3%쯤 흔들린다. 시료마다 실제 초점 위치는 시료 두께 때문에 WD 눈금과 조금 다르다.

  1. 탐구 문제광학 현미경으로는 꽃가루가 작은 공처럼만 보인다. 주사 전자 현미경(SEM)은 어떻게 표면의 가시와 구멍을 입체적으로 보여 주고, 선명한 상을 얻으려면 무엇을 어떤 순서로 맞춰야 할까?
  2. 복원분해능은 쓰는 파동의 파장에 비례한다. 15 kV로 가속한 전자의 물질파 파장은 약 0.01 nm로 가시광선(400~700 nm)보다 수만 배 짧다. SEM은 전자총에서 나온 전자를 전자기 렌즈(집속 렌즈, 대물렌즈)로 가늘게 모으고, 주사 코일로 시료 표면을 한 줄씩 훑는다. 각 점에서 튀어나온 이차 전자의 양을 검출기가 세어 모니터의 같은 점 밝기로 그린다.
  3. 설계시료는 고정·건조하고 금을 얇게 입혀(스퍼터 코팅) 전기가 통하게 한다. 경통과 시료실은 진공으로 만든다. 그다음 ① 가속 전압·스폿 크기를 정하고 ② 낮은 배율에서 초점을 대강 맞춘 뒤 ③ 목표보다 높은 배율에서 미세 초점과 비점 보정 X·Y를 번갈아 맞추고 ④ 배율을 내려 밝기·대비를 조절해 촬영한다.
  4. 분석초점을 조금씩 바꾸며 찍은 선명도를 그래프로 그리면 봉우리가 생기고, 봉우리 위치가 최적 초점이다. 봉우리의 폭은 피사계 심도를 보여 준다. 전자빔이 모이는 각 α는 조리개 반지름 ÷ WD라서, WD를 늘리면 α가 작아져 피사계 심도는 깊어지고 탐침은 굵어져 분해능은 나빠진다.
  5. 측정코팅과 진공을 마친 뒤 ×1500에서 선명한 상을 만들어 보자. 그다음 초점(미세)을 −0.3 mm부터 +0.3 mm까지 0.1 mm 간격으로 바꾸며 찍어 봉우리를 그리고, WD를 25 mm로 바꿔 다시 그려 봉우리 폭을 비교해 보자. 코팅하지 않은 시료를 15 kV와 2 kV로 보면 어떻게 다른가?
  6. 오차·안전코팅하지 않은 생물 시료는 전자가 빠져나가지 못하고 쌓여(대전) 하얗게 번쩍이고 상이 찢어진다. 가속 전압을 1~2 kV로 낮추면 대전이 줄지만 잡음이 늘고 분해능이 떨어진다. 가속 전압이 너무 높으면 전자가 시료 깊이 들어가 표면이 반투명하게 흐려진다. SEM 사진의 색은 실제 색이 아니라 나중에 칠한 것이다. 진공 상태에서 시료실 문을 억지로 열지 않고, 금 코팅 장치와 고전압부는 지도 교사와 함께 다룬다.

확인조건이 달라지면

울퉁불퉁한 곤충 다리 전체를 위아래 모두 초점이 맞게 찍고 싶다. 가장 알맞은 조절은?

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